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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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纳米级精准定位的单离子注入系统SII
高速原子力显微镜AFM系统
Photonic Professional GT2 飞秒激光直写仪
URE-2000/35 型光刻机
URE-2000B 型紫外单面光刻机
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JBX-6300FS 电子束光刻系统
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美国Photonics 可调谐激光器OPO系列
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SB-402曝光机(双面光刻机)
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ST-1500i投影光刻机
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