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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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名称:德国W&L微波等离子体沉积系统
编号:
功率:
芯片数量:
详细介绍

德国W&L微波等离子体沉积系统

主要技术参数:
 。2.45 GHz 微波源
   。功率 6 KW
   。3 英寸 (75 厘米) 样品台
   。4 路气体 H2, CH4, CO2 and N PLC 全自动控制

真正的环形等离子体激发源设计是获取高稳定、高均匀等离子体的关键!!!



W&L 公司 CBR 技术特色:

CBR 技术的一个最重要的优点:使等离子放电体的形状可调、可控,显著提高最大有效沉积面积!

相比球状等离子体,圆盘状等离子体可实现更大的沉积面积!







图(a)、图(b)分别为圆盘状等离子体原理图和实物图

图(c)、图(d)分别为球状等离子体原理图和实物图

W&L 公司 CBR 技术特色之二

在新的 CBR 设计中,真空-大气界面(SiO2) 远离“H”等离子体,从而有效避免其腐蚀效应。


W&L 公司 CBR 技术特色之三

从以下模拟结果可以看出,能量在整个样品上的分布十分均匀:



典型金刚石单晶生产线:




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