中文版 ENGLISH 日本語
 
首页       |        公司简介       |        产品展示       |        资质证书       |        市场分布       |        技术资讯       |        客户伙伴       |        UV技术支持       |        联系我们
会员登录  
用户名:
密码:
     
产品分类  
联系我们  
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
www.lxyuv.com
廖经理:13538131258,QQ:583129932
徐's:15915408056,QQ:1053054539
E-Mail:LXYELE@126.COM
产品中心  
名称:探针电子束光刻系统/单针尖电子束光刻系统SPL
编号:
功率:
芯片数量:
详细介绍

ParcanNano 探针电子束光刻系统/单针尖电子束光刻系统SPL

 

 


简介:

 

公司以全球独家专利的针尖技术为核心竞争力,技术源自于德国伊尔默瑙工业大学,致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发,及其相关设备的产业化。
 

公司研制一套基于扫描针尖低能电子束场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。公司致力于为微纳米制造企业提供制备微纳米功能结构和功能器件(比如最高速且最省电的基于单电子器件的芯片)的高性能设备和技术服务。

 

技术特点:


场发射低能电子束
大幅降低电子束背底散射
几乎消除电子束临近效应
光刻5纳米以下单线宽结构
光刻结构间距小于2纳米
接近原子级分辨的套刻精度
线写速度高达 300 μm/s
大气环境下可实现正负光刻
正光刻流程无需显影步骤
无需调制电子束聚光
大范围分步重复工艺
Mix & Match 混合光刻模式
针尖曝光与结构成像实时进行
真空原位观测光刻图案

廖经理
点击这里给我发消息
徐小姐
点击这里给我发消息
唐林
点击这里给我发消息
公司QQ
点击这里给我发消息