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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品中心  
名称:德Heidelberg μPG 101 激光掩膜绘图机
编号:
功率:
芯片数量:
详细介绍

德国海德堡 激光直写光刻机μPG 101

适合用于科研领域
台式激光直写

操作简单,可支持灰度光刻



μPG101是一款经济实惠且易于操作的图形发生器,适用于直写和少批量的掩模板制作。该系统可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微结构的制作。

μPG101的面积仅为60x75cm²,设计精巧,将所有电子组件集成在系统中,由系统控制主机运作。基于Windows®的控制接口,使用户可以轻松进行数据转文件,经过手动或自动对准之后,即可开始曝光。

μPG101主要提供简单快速的方式来创建微结构。系统可透读写模块的更换,以满足不用的分辨率和写入速度的要求。它是市面上唯一达到亚微米结构的桌上型光刻系统,即使是偏小网格,依然具有非常高精度的结构。实时自动对焦系统可在曝光期间实时监控和校正聚焦位置,从而确保整个曝光区域的高分辨率和可重复性。精密网格和实时自动对焦装置是专业微图型发生器的标准要求。

μPG101的应用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微结构的应用。

功能


写入速度高达90毫米²/分钟







基板6 x 6”


降至0.6µm结构

标准或紫外光源

多种数据输入格式

基本灰度曝光模式

对准摄像系统

多种可交换的写模式

矢量和栅格曝光模式


 

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